MOOG伺服阀D633-7402A上海*

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服阀范围内。20世纪70年代以来，伺服阀一般仅指电液伺服阀。
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典型的伺服阀由永磁力矩马达、喷嘴、档板、阀芯、阀套和控制腔组成(见图)。当输入线圈通入电流
伺服阀
伺服阀
时，档板向右移动，使右边喷嘴的节流作用加强，流量减少，右侧背压上升；同时使左边喷嘴节流作用减小，流量增加，左侧背压下降。阀芯两端的作用力失去平衡, 阀芯遂向左移动。高压油从S流向C2，送到负载。负载回油通过 C1流过回油口，进入油箱。阀芯的位移量与力矩马达的输入电流成正比，作用在阀芯上的液压力与弹簧力相平衡，因此在平衡状态下力矩马达的差动电流与阀芯的位移成正比。如果输入的电流反向，则流量也反向。表中是伺服阀的分类。
伺服阀主要用在电气液压伺服系统中作为执行元件（见液压伺服系统）。在伺服系统中，液压执行机构同电气及气动执行机构相比，具有快速性好、单位重量输出功率大、传动平稳、抗干扰能力强等特点。另一方面，在伺服系统中传递信号和校正特性时多用电气元件。因此，现代高性能的伺服系统也都采用电液方式，伺服阀就是这种系统的必需元件。
伺服阀结构比较复杂，造价高，对油的质量和清洁度要求高。新型的伺服阀正试图克服这些缺点，例如利用电致伸缩元件的伺服阀，使结构大为简化。另一个方向是研制特殊的工作油（如电气粘性油）。这种工作油能在电磁的作用下改变粘性系数。利用这一性质就可通过电信号直接控制油流。

工作原理图1是常见的气动薄膜调节阀，来自调节器的气压信号进入膜
室后转换成推力，通过推杆推动阀门，调节被控对象中的流量。图2是带阀门定
位器的气动薄膜调节阀工作原理图。气压信号pl进入波纹管后，经杠杆使挡板
与喷嘴靠近，因此喷嘴背压p2增大，并经气动功率放大器放大后送入执行机构
的膜室推动阀门。同时，执行机构的位移通过凸轮和弹簧在杠杆上产生反馈力，
此力与波纹管产生的信号力相平衡，因此执行机构输出位移与输入信号成正比。
薄膜执行机构是气动执行机构的一种结构形式，输出推力最大达20万牛顿，最
大位移为100毫米。活塞式执行机构输出推力最大达14万牛顿,最大位移为600
毫米。气动执行机构结构较简单，防爆性能好。

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